半(bàn)导(dăo)體(tĭ)級(jí)单(dān)晶(jīng)硅(guī)炉(lú)
● SCG200系列半导体级单晶硅炉
● SCG300系列半导体级单晶硅炉
碳化硅单晶炉
● JSSD系列感应加热PVT碳化硅单晶炉
● SCET420系列感应加热PVT碳化硅单晶炉
● SCMP系列感应加热PVT碳化硅单晶炉
● 电阻加热PVT SCR950系列碳化硅单晶炉
● SCMP/LP系列TSSG法碳化硅单晶炉
蓝宝石单晶炉
● 蓝宝石单晶炉SET280系列
● 蓝宝石单晶炉SET300系列
其他晶体生长设备
● 碳化硅原料合成炉 HC-SCET1000系列
● 氮化铝原料提纯炉ANET920系列
● 集成电路刻蚀用硅材料长晶炉SF280系列
機構：功率半導體市場規模2027年將达306億美元
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